技術(shù)能力如下:
最大層數(shù):60層
最大縱橫比:26:1
線(xiàn)寬/線(xiàn)距公差:±10%;特殊管控信號(hào)線(xiàn)公差可達(dá)±8%
層間對(duì)位精度:5mil
阻抗公差:±5%
最小線(xiàn)寬/線(xiàn)距:0.04mm/0.04mm
最大防焊對(duì)位公差:+/-1mil
最小機(jī)械鉆孔:0.1mm